華潤微電子超純水項目

華潤微電子有限公司是華潤集團旗下負責(zé)微電子業(yè)務(wù)投資、發(fā)展和經(jīng)營管理的高科技企業(yè),亦是中國本土規(guī)模和影響力大的綜合性微電子企業(yè)之一。公司業(yè)務(wù)包括集成電路設(shè)計、掩模制造、晶圓制造、封裝測試及分立器件。

自2014年起,公司相繼與無錫華潤微電子有限公司及其旗下無錫華潤上華科技有限公司合作,其中合作的8英寸0.25微米以下集成電路芯片超純水項目,是國內(nèi)首套應(yīng)用全膜法工藝的8英寸晶圓用超純水系統(tǒng),整合了多介質(zhì)過濾、膜脫氣、超濾(UF)、反滲透(RO)、電去離子(EDI)、PMB等核心工藝技術(shù),有效確保了客戶生產(chǎn)線對超高純度水的穩(wěn)定供應(yīng)。